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美国开发低温工艺可望利用廉价聚合物生产铁电元件

编辑:北京博文仪器设备科技有限公司  字号:
摘要:美国开发低温工艺可望利用廉价聚合物生产铁电元件
美国乔治亚理工学院(Georgia Institute of Technology)最近利用原子力显微镜(atomic-force microscope,AFM)开发出一种新的低温工艺,可望在短时间内实现以塑料基板制造铁电存储器(ferroelectric memories)、能源采集阵列、传感器、制动器(actuator)等元件。

由乔治亚理工学院教授Nazanin Bassiri-Gharb所率领的研究团队,通过采用一种热化学纳米光刻(thermochemical nano-lithography)技术,开发出一种能将铁电材料沉积在塑料基板上的低温工艺。该团队成员还包括博士后研究员Suenne Kim、教授Elisa Riedo,以及研究生助理Yaser Bastani,他们最近证实,纳米等级的铁电结构能用来在廉价的聚合物上生产铁电元件。

研究团队利用原子力显微镜的加热头(heated tip)制作出适合半导体元件或是类MEMS传感器、制动器的铁电结构,包括宽度仅30纳米的线路,以及直径只有10纳米的球体。以铁电存储器为例,该团队估计可利用新开发的工艺达到每平方英寸200GB的容量密度。

这项研究的合作单位还包括美国伊利诺斯州大学(厄本那-香槟分校)以及内布拉斯加大学(University of Nebraska),并获得美国国家科学基金会(National Science Foundation)与美国能源部(US Department of Energy)的赞助。
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